手机版 |
产品分类 |
光学仪器及设备
奥林巴斯激光扫描共聚焦显微镜LEXT OLS5100
奥林巴斯金相显微镜正置显微镜BX53M
清洁度显微镜
奥林巴斯Stream图像分析软件
奥林巴斯数码显微照相装置DP74
奥林巴斯半导体晶圆搬送及检测显微镜AL120
奥林巴斯数码显微镜DSX1000
奥林巴斯OLS5000激光显微镜
奥林巴斯工具显微镜半导体检测显微镜MX63/MX63L
奥林巴斯清洁度检测显微镜CIX100
无损检测/无损探伤仪器
奥林巴斯RollerFORM XL相控阵扫查器
奥林巴斯无损探伤仪OmniScan X3
奥林巴斯EPOCH 6LS便携式超声探伤仪
奥林巴斯EPOCH6LT
奥林巴斯涡流探伤仪OmniScan MX ECA/ECT
奥林巴斯涡流探伤仪NORTEC 600
奥林巴斯探伤仪OmniScan SX
奥林巴斯探伤仪OmniScan MX2
奥林巴斯便携式超声探伤仪EPOCH LT
奥林巴斯便携式超声探伤仪EPOCH LTC
X射线仪器
奥林巴斯手持式光谱仪Vanta Element-S
奥林巴斯手持式XRF分析仪Vanta
奥林巴斯XRF分析仪Xpert
奥林巴斯XRF分析仪GoldXpert
奥林巴斯BTX台式XRD
奥林巴斯便携式XRD Terra
奥林巴斯便携式XRF X-5000
奥林巴斯手持式XRF DELTA
测厚仪
奥林巴斯测厚仪Magna-Mike 8600
奥林巴斯超声测厚仪38DL PLUS
奥林巴斯超声测厚仪45MG
奥林巴斯超声测厚仪27MG
联系方式 |
产品系列
OLS5000 3D测量激光显微镜可以精确地测量亚微米级的表面形状和粗糙度。图像采集速度比我们之前的型号OLS4100快四倍,大大提高了效率。
1. 捕捉任意表面形状。 | ||
2. 快速获得可靠数据。 | ||
3. 操作简单— 只需放置样 品并按一下按钮即可。 | ||
|
优异的平面分辨率
LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜配备的两套光学系统(彩色成像光学系统和激光共焦光学系统)让其能够获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像。405nm紫色激光和专用高数值孔径物镜可以捕
捉到传统光学显微镜、白光干涉仪或红色激光显微镜无法发现的精细纹理和缺陷。
专用LEXT物镜
我们的专用LEXT物镜系列近期新增了提升测量性能的长工作距离物镜和普通工作距离的10倍物镜。所有专用LEXT物镜的测量性能均可获得保证。
4K扫描技术—检测陡峭斜面和近纳米级台阶的形貌
4K 扫描技术可在X轴方向扫描4096像素,是传统机型的四倍。由此提高了高度测量的可靠性,改善了分辨率,信噪比提升了两倍。OLS5000显微镜无需图像处理就能检测几乎垂直的陡峭斜面和极低的台阶。
可准确测量高达87.5° 的大角度斜面。
快速、精确的测量——PEAK算法
OLS5000 3D测量激光显微镜采用了用于 3D 数据构建的 PEAK 算法。该算法可获得从低倍率到高倍率的高精度数据,并可缩短数据采集时间。
VLSI 标准样品/ 80nm台阶 (MPLFLN10XLEXT)
简单分析
简单分析功能可仅在指定测量范围内测量台阶、线宽、表面粗糙度和体积。自动检测测量结果变动的原因(如体积分析中参考平面的边缘位置和阈值)让测量结果保持稳定,不受操作员技能水平的影响。
扩展架—可检测**210毫米高度的样品
载物台上可放置**高度210毫米的样品。重复性和准确性等测量性能均确保与标准机台相同。